如何监控磁控溅射镀膜玻璃的品质？

磁控溅射低辐射镀膜玻璃

——生产用检测仪器选配表

生产工艺必备的Filmonitor在线光学检测监测分析管理系统6000系列

检测项目

序号

产品名称

型号

符合标准

备注

过程检测及分析

1

在线光学检测监测分析管理系统

——分布式原片检测及过程分析基础部分

Filmonitor6000

JCT 2068

用于分布式测量的综合

控制及数据传输系统

2

锡面自动鉴别系统

TS2600

JCT 2068

监测玻璃原片的锡面位置

3

分布式原片单通道

光谱透射比在线测量系统

Filmonitor6110

GB/T 2680

JCT 2068

监测玻璃原片的颜色与种类

4

分布式真空腔室内

光谱透射比在线测量系统

Filmonitor6110

GB/T 2680

JCT 2068

监测每层膜的光学性能

5

分布式真空腔室内

非接触面电阻在线测量系统

Filmonitor6410

JCT 2068

监测银层镀膜质量

成品检测及分析

6

在线光学检测监测分析管理系统——下片台成品分析基础部分

Filmonitor6000

JCT 2068

用于成品测量的综合

控制及数据传输系统

光谱透反射比

在线扫描测量系统

Filmonitor6300

GB/T 2680

GB/T 7921

JCT 2068

用于成品分析的膜面反射、透射、玻璃面反射及偏角反射光谱、颜色色差测量

工艺及质检必备仪器

检测项目

序号

产品名称

型号

符合标准

备注

综合节能指标

1

便携式节能玻璃现场综合测试系统

GlasSmart1000

GB/T 2680

JGJ/T151

ISO9050

现场测量已上墙玻璃

的节能综合性能，

光谱范380~2500nm

可测三玻两腔中空玻璃

分光

光度计

2

建筑玻璃可见近红外分光光度计

GlasSpec2500

GB/T 2680

台式中空玻璃光学性能测量光谱范围380-2500nm

3

建筑玻璃可见近红外分光光度计

GlasSpec1000

GB/T 2680

台式中空玻璃光学性能测量光谱范围380-1000nm

台式光谱颜色

4

光谱透反射比快速测色仪

Filmeasure2300

GB/T 2680

GB/T 3979

GB/T 2410

台式用于单片玻璃的光谱颜色测量

5

分光偏角测色仪

Filmeasure2200

GB/T 2680

GB/T 3979

台式偏角颜色色差的测量，双银三银Low-E必备

手持光谱颜色色差

6

手持宽光谱测色仪

GlassQ

GB/T 2680

GB/T 3979

现场颜色均匀性测量，可直接测量中空玻璃

雾度

7

高精度雾度测定仪

SGH-2

GB/T 2410

ASTM D1003

测量镀膜玻璃的散射状况

耐磨（词条“耐磨”由行业大百科提供）性能

8

耐磨试验机

BTA-5000

GB/T 5137.1

ISO 3537

膜层牢固度检验，无需打孔

辐射率

9

D&S辐射率测量仪

AE1

玻璃膜面辐射率直接测量

面电阻

10

中空玻璃面电阻测量仪

GlassMeter600

现场测量单片和已上墙

中空玻璃的面电阻、厚度

11

手持感应式面电阻测量仪

Stratometer G

手持感应式面电阻测量

12

感应式面电阻测量仪

SRM-14T

台式高精度感应式测量

锡面识别仪

13

锡面识别仪

TS570

现场测量锡面位置